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中国半导体设备龙头屹唐半导体起诉了美国竞争对手应用材料窃取机密,并索赔9999万元(人民币,下同,1783万新元),此举标志着中美科技战的进一步升级。
综合观察者网和彭博社报道,屹唐半导体星期三(8月13日)发布公告称,公司因认为应用材料非法获取并使用了公司的等离子体源及晶圆表面处理相关的核心技术秘密,还在中国境内以申请专利的方式披露了技术秘密,且将这项专利申请权据为己有,因此向北京知识产权法院提起诉讼,诉讼金额为9999万元。
屹唐半导体称,利用高浓度、稳定均匀的等离子体进行晶圆表面处理是公司的关键技术之一,相关技术被广泛应用于公司的干法去胶、干法蚀刻、表面处理及改性等半导体加工设备中。公司在该领域具备领先的原创性技术能力,并拥有相关技术秘密。
屹唐半导体也提到,应用材料招聘了曾在屹唐半导体全资子公司Mattson Technology, Inc.(简称MTI公司)工作的两名涉案员工,而他们了解关于等离子体的产生和处理方法的核心技术,熟悉和掌握相关设备结构以及技术工艺。在MTI公司任职期间,这两员工均签署了保密协议,对包括涉案技术秘密在内的技术信息承担严格的保密义务。
屹唐半导体说,证据显示,应用材料招聘这两名员工入职后,向中国国家知识产权局提交了一份发明专利申请,其中主要发明人即为前述两名员工,专利申请披露了屹唐半导体与MTI公司共同所有的涉案技术秘密。
屹唐半导体在公告中指出,被告非法获取和使用原告的技术秘密,并在中国境内以申请专利的方式披露了这项技术秘密,将专利申请权据为己有,违反了《中国反不正当竞争法》的规定,构成侵犯商业秘密的行为,对屹唐半导体的知识产权和经济利益造成严重的损害。
屹唐半导体还说,截至本公告披露日,案件已立案,尚未开庭审理。
《每日经济新闻》以投资者身份致电屹唐半导体,公司董秘办人士说,因为法院刚受理了公司的诉讼请求,开庭审理时间需要等法院进一步通知。对于公司诉讼金额9999万元的确定依据,这名人士说,这是公司对各方面的考虑,包括对公司造成的具体经济损失,另外主要考虑适用三倍的惩罚性赔偿,所以诉讼被告赔偿9999万元。
这名人士也说,签署保密协议都是基本的,员工入职一般都要签。“但如果(这些员工)想要做一些坏事的话,签了保密协议也拦不住他们实际去做。”
晶片设备技术是中美长期科技战的焦点之一。迄今为止,半导体制造设备领域仍由美国、荷兰和日本主导。
多年来,美国主导的行动阻止了中国企业获得荷兰供应商阿斯麦最先进的极紫外光刻系统,这类设备是制造最尖端晶片、用于开发人工智能算法所必需的。如果没有美国设备供应商,包括应用材料和泛林集团的支持,阿斯麦的技术也无法在晶片制造工厂使用。
报道称,虽然屹唐半导体的举动可能被视为中国对美国的一种反击,但两家公司此前就有纠纷。2022年,应用材料曾起诉MTI公司涉嫌企业间谍行为,MTI公司当时否认了所有不当行为指控。
资料显示,屹唐半导体成立于2015年底,主要从事集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研发、生产和销售,面向全球集成电路制造厂商提供包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备在内的集成电路制造设备及配套工艺解决方案。公司于今年7月8日在上交所科创板上市。

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